10.3969/j.issn.1007-7804.2005.05.008
准分子激光器用含氟混合气体配制与净化装置的建立
根据准分子激光器的使用要求,建立了一套准分子激光器用含氟混合气体配制与净化装置,并规定了操作规程.按规程应用该装置配制的含氟混合气,可以使准分子激光器的有效工作时间延长2~3倍,激光器中镜面的使用寿命平均延长3~5倍.实践证明,该装置的建立是可行的.
含氟混合气体、配制、净化、装置
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TQ117
2005-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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