10.3969/j.issn.1007-7804.2004.06.008
中国电子气体的现状及发展走向
详细地介绍了中国电子气体的技术现状.从光电子、微电子生产中具体使用的几种主要气体的工艺制造上进行了极为详细的介绍.同时,对电子气体的未来发展进行了展望.
电子气体、工艺制造、现状、展望
22
TQ117
2005-03-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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10.3969/j.issn.1007-7804.2004.06.008
电子气体、工艺制造、现状、展望
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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