5.5 N以上超纯氨的研制及产业化

摘要：

"六五"以来,国内5N电子级高纯氨制备中长期存在水纯化曲线"马鞍形"现象和瓶装高纯氨中O2、N2、CH4等杂质反弹等技术难点及包装容器的落后与生产规模过小,使国内生产的瓶装高纯氨的质量长期徘徊在5 N的水平,且很不稳定.针对上述技术难点进行克服和突破,说明了我院5.5 N以上超纯氨研制及产业化在技术上的进展.介绍了包装容器及氨中杂质尤其是氨中痕量水分析的有关工作.本工作对我国电子工业的发展将会产生一定的促进作用.

关键词：高纯氨、超纯氨制备、氨中水分析、高纯氨包装容器

所属期刊栏目：20

分类号：TQ126.2

资助基金：科技部科技型中小企业技术创新项目00C26212120120;国家高技术研究发展计划863计划2001AA311040

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：25-33