SiH4,Si2H6的制备与分离

摘要：

用Mg2Si制备SiH4必然伴随产生Si2H6.经二级低温冷凝 ,分子筛吸附和恒温恒压汽化等工艺技术过程,能够对两种气体进行最有效的分离 .并且可以制备Si2H6和总杂质含量≤10×10-6,基磷＜0.2×10-9, 基硼＜0.05×10-9的高纯SiH4.

关键词：甲硅烷、乙硅烷、低温冷凝、分子筛、恒温恒压汽化

所属期刊栏目：19

分类号：TQ117

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：20-23