气体工业名词术语

摘要：

@@ 高纯气体系统用针形阀(Used inHigh Purity Gas System Needle Valve)是用来细调高纯气体流量的阀门,通常要求采用不锈钢材质,内漏及外漏速率均有严格要求,材质与气体接触的表面要经过特殊处理,以确保气体通过时无粒子脱落且不吸附气体;它具有针形的阀瓣和阀座.其调节精度主要取决于通径和阀针锥度的大小.

机标关键词：气体工业、吸附气体、特殊处理、气体系统、气体流量、调节精度、材质、针形阀、不锈钢、锥度、速率、内漏、粒子、阀座、阀针、阀门、阀瓣、调高、表面

所属期刊栏目：18

分类号：TG1;TH4

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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