10.16711/j.1001-7100.2022.10.001
YBa2Cu3O7-δ超导薄膜的氩氧混合离子刻蚀效应研究
采用低能氩氧混合离子刻蚀对YBCO薄膜进行表面优化处理,并研究了刻蚀对超导性能的影响.结果表明,该刻蚀方法可有效去除YBCO薄膜表面的异质相,减小表面粗糙度,且不会破坏薄膜的晶体结构.刻蚀样品的临界电流密度(Jc)提升了16%以上(77 K,自场).相比于纯氩离子刻蚀,氩氧混合离子刻蚀可有效缓解样品高场下载流能力的衰减.
YBCO薄膜、表面优化、氩氧混合离子刻蚀、临界电流密度
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TQ174
国家自然科学基金;中国科学院战略性先导科技专项
2022-12-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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