10.16711/j.1001-7100.2019.07.005
制冷机低温泵控制器设计
制冷机低温泵产品配置专用控制器,其目的是实现自动完全再生、获取运行状态信息、提供远程监控接口与操作,提高低温泵产品的自动化水平.在充分研究主流制冷机低温泵产品的基础上,针对12英寸以下口径低温泵,设计了专用控制器,介绍了器件选型、人机界面、软、硬件结构等内容.经过24个月不间断运行测试,验证了低温泵控制器设计的正确性与可靠性.
制冷机、低温泵、控制器、加热功率
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TP23(自动化技术及设备)
国产集成电路装备零部件量产应用工程——低温真空泵开发;产业化项目
2019-08-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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