聚酰亚胺在MgB2约瑟夫森结制备中的应用

摘要：

MgB2超导材料由于其优异的超导性能和电学参数,是制作超导集成电路的理想材料之一.制备基于MgB2超导薄膜的高质量约瑟夫森结是超导电子学应用的关键.以聚酰亚胺(PI)为抗蚀层,在MgB2超导薄膜上实现微米量级的图形线条制作,以此工艺为基础,结合MgB2超导薄膜的气相化学沉积和晶型B介质层沉积方法,制作了基于MgB2超导材料的约瑟夫森纵向结阵列,并测试了相应结的约瑟夫森效应.

关键词：PI薄膜、MgB2、约瑟夫森结、超导集成电路

所属期刊栏目：47

分类号：O511(低温物理学)

资助基金：国家自然科学基金;贵州大学引进人才科研项目

在线出版日期：2019-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：29-33