10.16711/j.1001-7100.2018.10.007
用于超导平面微波电路的悬空桥制备工艺研究
在超导微波电路芯片中,通常存在影响信号传输和控制的杂散信号,利用超导悬空桥连接电路不同接地平面,可有效抑制微波线路中的寄生杂散模式.利用光刻胶作为支撑层,采用直流磁控溅射、反应离子刻蚀(RIE)、深紫外曝光光刻等微加工方法,制备了连接复杂微波电路不同接地平面的悬空桥结构,并给出了制备工艺流程及悬空桥结构的低温超导特性表征.试验结果表明,该悬空桥制备工艺可用于目前比较复杂的超导平面微波电路制备.
悬空桥、磁控溅射、反应离子刻蚀、光刻
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TN405.983;TN252;TN305.7
国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家重点研发计划
2018-11-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
36-39