10.16711/j.1001-7100.2018.07.011
一种超导薄膜滤波器频率精确修正方法
针对某型超导薄膜滤波器制作完成后的频率偏离现象,借助激光对超导薄膜滤波器线条进行修剪,以修正超导滤波器的频率.结合仿真计算,滤波器修正后频率与设计值一致;其它指标仍能满足设计要求.借助激光修正超导薄膜滤波器频率,将显著降低对设计和工艺制作的高精度要求,可实现更高的成品率.
超导薄膜滤波器、激光、修剪、频率修正
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2018-09-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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