化学修饰的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备YBCO薄膜图形的研究

摘要：

化学修饰的Sol-Gel法因无需光刻胶、腐蚀液被用于YBCO薄膜图形的制备.以丙烯酸(从)、苯酰丙酮(BzAcH)作为化学修饰剂制备YBCO薄膜图形,研究了化学修饰剂、光源、前烘温度和时间、溶洗剂对薄膜图形的最小线宽和质量的影响.

关键词：化学修饰的Sol-Gel法、YBCO薄膜图形、化学修饰剂

所属期刊栏目：42

分类号：R73;TN3

资助基金：陕西省教育厅项目11JK0838

在线出版日期：2014-01-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：40-43