低温泵用吸附材料的研究概述

摘要：

低温泵广泛应用于真空电子、半导体领域.低温泵的吸附材料对低温泵的工作性能有着重要的影响.综述了低温泵的吸附材料性能与研究现状.首先总结了吸附材料的表征方法及研究内容.然后分别叙述了分子筛、低温霜和活性炭三种低温泵主要用的吸附材料的工作性能,指出其优势和不足.最后以ITER用的低温泵为例说明低温吸附材料的应用.

关键词：低温泵、分子筛、活性炭、低温霜

所属期刊栏目：42

分类号：TQ3;I23

在线出版日期：2014-01-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：29-34