Nb/AlOx-Al/Nb超导隧道结制备氧化工艺与特性研究

摘要：

提出一种氧的等离子氧化的方法改善结区边缘绝缘性能,降低超导隧道结的漏电流.对Al膜进行等离子氧化能够有效的改善氧化膜的绝缘性能,AES分析表明:氧化绝缘层均匀,界面清晰；应用此方法成功制备出较好性能的Nb隧道结.

关键词：超导隧道结、等离子氧化、阳极氧化、制备工艺

所属期刊栏目：40

分类号：TN8;TN7

资助基金：国家自然科学基金61027008,11074114国家重点基础研究发展计划项目2011CBA00202

在线出版日期：2012-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-38