基于DVD读取头的光学探头电路设计

摘要：

随着工业精密测量对于精度和分辨率的要求越来越高,光学探头在工业精密测量中得到了广泛的应用.由于DVD读取头的聚焦误差信号FES(Focus Error Signal)即S曲线的一部分与失焦距离成线性关系,因此稍作改进就可以做光学探头,用来进行微小位移的测量[1].文中给出了其电路设计,该电路分成两个部分,一个是LD功率自动控制电路,一个是FES获取电路.经过实验测试,利用该电路可以获得良好的S曲线,可实现对微器件(几何尺寸数毫米至数微米,精度参数多为微纳米数量级)的精确测量.该电路设计具有结构简单、抗干扰能力强等突出优点.

关键词：DVD激光读取头、聚焦误差信号、S曲线、光学探头

所属期刊栏目：40

分类号：O43;TP2

在线出版日期：2012-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：83-86