单源进液金属有机化学气相沉积法工作气压对YBCO薄膜制备的影响研究

摘要：

基于金属有机化学气相沉积法(MOCVD),在沉积有Y2O3/YSZ/ CeO2( YYC)多层过渡层的Ni - W_at.5％金属基带上沉积YBa2Cu3O7-x(YBCO)超导薄膜.通过对单源进液系统的优化,使金属有机源连续稳定地输送到蒸发皿进行闪蒸.优化总气压并通入N2O气氛,以获得高质量的YBCO薄膜.在优化的温度条件下,总压为380Pa,氧气和N2O分压为200Pa(氧气、笑气流量比为5:3),获得了较高的临界电流密度Jc=0.2MA/cm2.在延续织构方面,由CeO2的面外半高宽3.6.降到YBCO(005)峰半高宽的1.8.,由CeO2的面内半高宽5.2.降到YBCO( 103)面半高宽的4.8.,织构获得较大改善.

关键词：单源系统、YBCO高温超导薄膜、金属有机物化学气相沉积

所属期刊栏目：40

分类号：TQ2;TB3

在线出版日期：2012-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：23-26