高温超导滤波器两种刻蚀方法的研究

摘要：

在高温超导滤波器的制备过程中,针对所使用的高温超导薄膜的特点,采用了两种刻蚀方法--湿化学刻蚀法和离子束刻蚀法,设计对比了两种刻蚀的制作流程及其优缺点,并用两种方法分别制备了高温超导滤波器,对微波特性做了对比分析.得出离子束刻蚀对超导薄膜的性能影响要小一些,用此方法制备的高温超导滤波器具有更好的微波特性.

关键词：高温超导薄膜、滤波器、湿化学刻蚀法、离子束刻蚀法

所属期刊栏目：38

分类号：TN9;TN7

在线出版日期：2010-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：37-39