TFA-MOD法制备YBCO薄膜生长速率研究

摘要：

采用原位电阻法对TFA-MOD法高温热处理阶段YBCO薄膜生长速率进行了研究.实验结果和分析表明原位电阻测量法是一种估算YBCO层生长速率的有效方法,不同条件下的测量结果表明薄膜生长速率随管式炉内的温度、水分压、气体流量的上升而明显增加,但随薄膜面积的增加而减小.实验结果为进一步探索和优化热处理过程提供了重要的基础.

关键词：TFA-MOD、YBCO、薄膜生长速率、原位电阻测量

所属期刊栏目：38

分类号：TG1;TM9

在线出版日期：2010-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：28-31,47