低温泵抽气性能测试平台的抽速测量不确定度研究

摘要：

抽速是决定低温泵抽气性能的关键参数,高质量的抽速测试结果可有效指导低温泵的工程设计与实验运行.介绍了低温泵抽气性能测试平台的组成和抽速测量的基本原理,分析了压力和充气量的不确定度分量来源,研究了各不确定度分量的估计与合成,确定了低温泵的抽速测量不确定度,给出了抽速测量结果的完整表述,探讨了降低抽速测量不确定度、提高测量结果质量所采取的措施.研究结果对合理配置低温泵抽气性能测试平台、优化实验方案、提高抽速测量结果可靠性有指导意义.

关键词：不确定度、抽速、抽气性能、低温泵

所属期刊栏目：37

分类号：TB7;TP3

资助基金：国家自然科学基金项目50675057;中国科学院知识创新工程青年人才领域专项前沿项目资助

在线出版日期：2009-06-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：6-9