10.3969/j.issn.1001-7100.2009.03.009
高温超导滤波器的光刻工艺
根据高温超导薄膜的特点,详细讨论了制备高温超导滤波器的光刻技术及在制备的各环节中需注意的问题,实验结果表明:此种方法提高了制备的成功率.
高温超导薄膜、滤波器、光刻
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TN9;TN7
2009-05-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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高温超导薄膜、滤波器、光刻
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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