基于高阻硅衬底的超导共面波导谐振腔及其动态电感分析

摘要：

本文详细介绍了在微波频段,高阻硅衬底上的超导共面波导谐振腔的研究,包括设计方法、制备流程、实验测量和数据分析,并且对NbN和Nb两种材料进行了实验对比.由于超导体中动态电感的存在,我们还对两种超导材料在不同厚度的情况下进行了测量,并且与理论计算结果进行了比较.

关键词：共面波导谐振腔、超导、动态电感、微波

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资助基金：国家自然科学基金面上项目11074114;江苏省杰出青年基金BK2012013;中央高校基本科研业务费专项资金资助的课题

在线出版日期：2013-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：109-112