二氧化硅纳米薄膜非平衡热导率研究

摘要：

二氧化硅纳米绝缘薄膜的传热是靠声子在薄膜的振动实现的.声子在纳米薄膜结构中传输的非平衡性影响了薄膜的热导率,3ω实验方法是一种可以对薄膜热导率进行瞬时测量的方法,本文采用3ω方法分别测量低频率段和高频段的二氧化硅薄膜温升及二氧化硅薄膜的热导率,对二氧化硅薄膜的非平衡热导率进行了分析.

关键词：纳米薄膜、热导率、非平衡

所属期刊栏目：30

分类号：X3 ;TN9

在线出版日期：2008-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：270-273