YBCO大面积超导薄膜沉积工艺与微结构研究

摘要：

采用中空柱状阴极直流磁控溅射方法制备了大面积YBCO超导薄膜.应用XRD方法,对在30×30mm2LaAlO3衬底上沉积的YBCO薄膜进行了结晶完整性、均匀性的测定.对同一样品,使用透射电子显微镜对薄膜和衬底间的界面进行了研究.

机标关键词：大面积、超导薄膜、沉积工艺、微结构研究、SUPERCONDUCTING FILM、透射电子显微镜、直流磁控溅射、结晶完整性、方法、衬底、均匀性、柱状、中空、应用、阴极、样品、界面、法制、测定

所属期刊栏目：21

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：442-446