在Ni片上制备YSZ/CeO2阻挡层和YBCO超导膜

摘要：

本文用平面靶射频磁控溅射在具有双轴织构的Ni片上外延生长CeO2和YSZ薄膜作为阻挡层,X-射线衍射扫描分析表明CeO2和YSZ薄膜具有强的c轴织构和较好的平面内双轴织构.用中空柱状靶直流磁控溅射在阻挡层上制备YBCO超导薄膜.在2cm波带测量了YBCO的表面电阻和谐振腔有载QL值.

机标关键词：阻挡层、超导膜、双轴织构、靶直流磁控溅射、射频磁控溅射、超导薄膜、外延生长、射线衍射、平面内、表面电阻、谐振腔、分析表、柱状、中空、有载、扫描、测量

所属期刊栏目：21

分类号：O48(固体物理学)

资助基金：中国科学院资助项目59671052

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：35-38