10.3969/j.issn.1000-3258.1999.01.005
HTS台阶边缘结特性和制作的实验研究
本文用原子力显微镜(AFM)对有不同伏安特性的台阶边缘结之台阶形貌进行了仔细测量.结果表明:台阶边缘晶界结特性受非平面衬底离子束刻蚀剖面细节的影响.文中对刻蚀剖面形貌的细节对结性能的影响进行了分析,并讨论了台阶结制作工艺重复性差,成品率低的原因.
边缘、结特性、制作、实验研究、原子力显微镜、离子束刻蚀、工艺重复性、剖面、伏安特性、台阶形、台阶结、非平面、成品率、性能、晶界、衬底、测量
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O4(物理学)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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