YBCO沟槽型台阶结和rf SQUID的制备及性能研究

摘要：

本工作在沟槽型台阶衬底上用直流磁控溅射法外延生长YBa2Cu3O7-δ(YBCO)超导薄膜后,制备出台阶结和射频超导量子干涉器(rf SQUID).液氮中器件的磁通灵敏度和磁场灵敏度分别达到2.0×10-4Φ0/和294fT/.涂有真空导热硅脂作保护层的器件, 至今寿命已达10个月, 经历了30次以上(个别器件达50次)测试过程中从液氮到室温的冷热循环, 性能没有明显的变化, 表现出很好的稳定性.通过研究, 解决了制备rf SQUID器件工艺过程中存在的一些问题, 提高了制备器件的可重复性, 得到高性能器件的成品率达到30%～50%.

机标关键词：槽型、台阶结、性能研究、器件、射频超导量子干涉器、直流磁控溅射法、灵敏度、液氮、外延生长、冷热循环、可重复性、工艺过程、导热硅脂、超导薄膜、测试过程、稳定性、高性能、成品率、保护层、真空

所属期刊栏目：21

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：5-12