纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用

摘要：

在MEMS力学检测中,纳米硬度计的应用具有重要意义,本文首先对MEMS力学检测与纳米硬度计的发展现状、测试原理作出阐述,然后利用纳米硬度计对多种材料的硬度进行检测,分别探讨纳米压痕法和纳米划痕法的具体应用,希望对业内可以起到一定参考作用.

关键词：纳米硬度计、MEMS力学检测、纳米压痕法、纳米划痕法

分类号：TP274.4(自动化技术及设备)

在线出版日期：2018-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：347-348