静电危害及在生产中的防范

摘要：

@@ 静电看不见.20世纪60年代,随着对静电非常敏感的MOS器件的出现,静电危害问题凸现出来了;到70年代静电危害问题日益严重;80～90年代,随着集成电路的密度越来越大,二氧化硅膜的厚度越来越薄(薄至纳米级),其所能承受的静电电压越来越低,而产生和积累静电的材料(如塑料,橡胶等)又大量使用,使得静电普遍存在,已成为电子电器工业的隐形杀手.

关键词：电子技术、安全性

所属期刊栏目：44

分类号：X93(安全工程)

在线出版日期：2014-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：17-18