硅棒碰壁检测装置设计

摘要：

@@ 多晶硅还原炉是生产多晶硅的主要装置,炉内竖有高2.8 m,直径仅有几厘米的硅棒.通过调压柜使炉子的温度维持在1 080℃,炉内的硅棒会逐渐熔化,硅棒会变软,直径相应变粗,达到一定的粗度时提炼成功.但提炼的同时硅棒变软可能会偏倒碰壁,由于其温度比炉壁高200℃左右,会导致硅棒把炉壁烧坏,炉壁造价很高,这将造成巨大的经济损失.

机标关键词：检测、炉壁、多晶硅还原炉、直径、温度比、经济损失、相应变、调压柜、装置、造价、生产、熔化、炉子、粗度

分类号：TF7;U17

在线出版日期：2009-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：62-63