超精密加工综述

摘要：

@@ 1 引言
超精密加工就是在超精密机床设备上,利用零件与刀具之间产生的具有严格约束的相对运动,对材料进行微量切削,以获得极高形状精度和表面光洁度的加工过程.其精度从微米到亚微米,乃至纳米,其应用范围日趋广泛,在高技术领域和军用工业以及民用工业中都有广泛应用,尤其是电气自动化领域,如超大规模集成电路、高密度磁盘、精密雷达、导弹火控系统、精密机床、精密仪器、录像机磁头、复印机磁鼓、煤气灶转阀等都要采用超精密加工技术.它与当代一些主要科学技术的发展有密切的关系,是当代科学发展的一个重要环节;而且,超精密加工技术的发展也促进了机械、液压、电子、半导体、光学、传感器和测量技术以及材料科学的发展.

机标关键词：超精密加工技术、精密机床、超大规模集成电路、导弹火控系统、录像机磁头、高密度磁盘、高技术领域、电气自动化、表面光洁度、应用范围、形状精度、相对运动、微米、微量切削、科学技术、科学发展、军用工业、精密仪器、加工过程、机床设备

分类号：TG5;TH1

在线出版日期：2015-12-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：45-47