基于激光追踪测量的电气控制系统

摘要：

为了保证激光追踪测量系统的平稳、快速、实时性测量等要求,研制了激光追踪测量电气控制系统.利用四象限光电传感器(quadrant photo－detector,QPD)对激光束光斑偏移量进行实时测量,将光斑偏移量通入可编程多轴运动控制器(programmable multi－axis controller,PMAC)中进行处理,并结合伺服电机构成闭环系统,采用工程整定方法调节PID,实现测量系统的平稳追踪测量.试验结果表明,控制系统运行平稳、追踪性能良好,激光光斑返回四象限光电传感器中心的平均时间为0.259 ms.

关键词：激光追踪测量、电气控制、可编程多轴运动控制器(PMAC)、四象限光电传感器、PID调节

所属期刊栏目：41

分类号：TH71(仪器、仪表)

资助基金：北京市自然科学基金3182005;国家重大科学仪器设备开发专项2013YQ17053904

在线出版日期：2019-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：89-92