集成式微操作器控制系统的研制

摘要：

微操作器是微操作机器人的核心部件,本文介绍了作者研制的压电陶瓷管驱动三自由度集成式微操作器,在此基础上,研制了微位移控制系统,包括双极性压电陶瓷驱动电流、微位移检测系统和微位移控制器,采用仿人智能PI控制方法,对微操作器进行了动静态测试,得到微操作器的性能指标.通过高精度位置闭环控制,补偿了压电陶瓷本身所具有的迟滞、蠕变、非线性等不足,提高了控制精度,达到了较好的控制效果.实验表明,该控制系统能够保证微操作器实现纳米级微动定位,满足微操作的要求.

关键词：微操作器、压电陶瓷管、微位移检测、仿人智能控制

所属期刊栏目：25

分类号：TP24(自动化技术及设备)

资助基金：哈尔滨工业大学科研基金资助项目HIT.2001.09

在线出版日期：2009-09-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：13-16