直线驱动系统中前馈质量与电机常数校准研究

摘要：

针对直线驱动系统.提出一种新的加速度前馈控制策略及前馈质量与电机常数的校准算法.首先,对传统前馈控制与新的控制策略之优缺点进行了对比,又介绍了直线驱动中的运动控制系统,提出一种精确计算前馈质量与电机常数的校准算法,以补偿传统前馈控制中的不足.实例证明该前馈策略与校准算法能有效提高系统的动态和稳态性能.满足高速、高精度的运动要求.该算法已成功应用于以直线驱动为主导的半导体加工设备中.

关键词：直线驱动、前馈控制、前馈质量、电机常数

所属期刊栏目：39

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金项目50245011;国家重点基础研究发展计划资助项目2003CB716206

在线出版日期：2009-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：43-46