基于遗传算法的标记选择方法
该文提出一种基于遗传算法选标记的智能算法,该算法利用遗传算法解决了光刻过程中硅片对准选标记的问题,该算法的特点是可以不依赖对人的经验需求,快速选择标记,并且选择的对准标记可以满足套刻性能要求.
遗传算法;标记
17
TN305(半导体技术)
2021-08-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
111-113
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遗传算法;标记
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TN305(半导体技术)
2021-08-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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