纳米压电阵列谐振特性的有限元分析仿真

摘要：

纤锌矿结构的氧化锌纳米棒阵列,同时具有半导体性能和压电效应,在很多领域有着广阔的应用前景.本文选用锌基底上c轴择优取向的氧化锌纳米棒阵列薄膜,利用阻抗分析仪测量该氧化锌纳米棒阵列薄膜的谐振频率,并使用有限元分析仿真软件ANSYS对单根自由氧化锌纳米棒(未加基底)和锌基底的氧化锌纳米棒对锌基氧化锌纳米棒阵列的谐振特性进行分析仿真.

关键词：有限元分析、谐振特性、氧化锌纳米阵列、ANSYS软件

所属期刊栏目：16

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2020-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：218-219