硅纳米线连接的分子动力学模拟研究
硅纳米线是一种新型的材料,在锂电池、太阳能电池、微电子等方面有着广泛的应用.[1]硅纳米线的连接技术是硅纳米线制造的关键技术之一,近年来国内外学者通过不同的方法对硅纳米线的连接技术进行了研究.但是在实体实验中,很难观察到硅纳米线连接过程中的微观变化,而分子动力学模拟方法,却能够很好地把硅纳米线的连接微观过程展现出来.本文综述了分子动力学模拟近几年的进展情况,并讨论了通过分子动力学模拟的方法探究硅纳米线连接最佳工艺参数的方法.
纳米线、硅纳米线、分子动力学模拟、LAMMPS
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TN304(半导体技术)
2020-03-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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