基于分支定界算法的集束型装备调度研究

摘要：

考虑有滞留时间约束的集束型晶圆制造装备调度问题,其调度要同时考虑晶圆加工排序和机械手搬运作业排序,给出了基于图论的分支定界算法,并采用最长路径方法确定调度目标.仿真实验结果验证了算法的有效性.

关键词：集束型装备、分支定界算法、晶圆制造

所属期刊栏目：14

分类号：TP301(计算技术、计算机技术)

资助基金：大连外国语大学2017年大学生创新创业训练计划项目201710172000010

在线出版日期：2018-07-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：242-243