基于改进遗传算法的集束型装备调度研究

摘要：

考虑机械手在输入装载室、加工模块和输出装载室三者间搬运时间和空载时间下,求解半导体制造中具有滞留时间约束的集束型装备调度问题,提出基于机械手搬运作业顺序编码的改进遗传算法,包括种群初始化、选择操作、变异操作和适应度函数计算等.仿真实验结果验证了提出算法的有效性.

关键词：遗传算法、集束型装备、半导体制造、滞留时间约束

所属期刊栏目：13

分类号：TP301(计算技术、计算机技术)

资助基金：辽宁省教育厅科学研究一般项目L2014456;辽宁省大学生创新创业训练计划项目201610172000015

在线出版日期：2017-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：263-264