超薄BaTiO3铁电薄膜隧穿机理研究

摘要：

使用磁控溅射法来对超薄BaTiO3的铁电薄膜进行制备,对电子隧穿的过程进行分析,将电流和电压所绘制出的曲线进行拟合,对单极性开关和双极性开关的工作原理进行分析和讨论.通过数据结果可以得知:在Pt/BaTiO3/Pt隧道结中含有三种不同类型的物理机制,分别为Schottky发射、SCLC机制、P-F发射.

关键词：超薄BaTiO3铁、电薄膜、隧穿机理

所属期刊栏目：12

分类号：TP311(计算技术、计算机技术)

资助基金：佳木斯大学博士专项科研基金项目,项目22Zb201516

在线出版日期：2016-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：245-247