芯片的制作技术与工艺

摘要：

硅材料产业是信息技术产生与发展的一项基础性产业.硅材料本身并不神奇,源于沙子,但它是通过一定的高精尖技术手段加工成的芯片在当前信息技术领域产生了不可估量的重大作用.本文即简要介绍芯片的制作技术与工艺.

关键词：芯片、晶圆、硅

所属期刊栏目：11

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2015-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：134-135