透明导电氧化物AZO薄膜的制备与性能研究

摘要：

利用直流磁控溅射法，采用氧化锌铝(98%ZnO+2%Al2O3)为靶材，在普通载玻片上制备了AZO (ZnO：Al)薄膜。采用X射线衍射仪、场扫描电镜对薄膜的结构及表面形貌进行了分析，采用分光光度计和四探针法对薄膜的光电学性能进行了测试。结果表明：控制好工艺参数可以制备出致密、均匀并具有良好的光电性能的AZO薄膜；并计算了带隙能量和折射率。

关键词：磁控溅射、电阻率、透过率、AZO、薄膜

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2014-05-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：2107-2109