天线效应的产生及修复

摘要：

随着现代半导体集成电路工艺的发展,栅的尺寸和氧化层的厚度越来越小,然而互连线的长度却有增加的趋势,这就造成了与之相关的天线效应越来越显著.本文介绍了天线效应的原理,以及修复方法.

关键词：天线效应、跳层、反偏二极管

所属期刊栏目：1

分类号：TP393(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2008-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：942-943,960