10.3969/j.issn.1009-3044.2007.13.089
叉指电极间分布电阻的计算方法与软件设计
本论文给出了薄膜敏感元件叉指电极间薄膜分布电阻的计算方法,为电阻型敏感元件的设计提供理论上的指导.并根据理论公式,设计了一款简单易用的软件,可以很方便的计算给定叉指电极间的薄膜分布电阻.
敏感元件、叉指电极、分布电阻、计算软件
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TN379(半导体技术)
2007-09-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
161-163
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10.3969/j.issn.1009-3044.2007.13.089
敏感元件、叉指电极、分布电阻、计算软件
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TN379(半导体技术)
2007-09-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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