硅微陀螺正交校正结构设计与试验

摘要：

为从源头上消除硅微陀螺的正交误差，采用静电修调方法，研究正交校正结构设计问题．在分析静电修调原理的基础上，探讨校正电极设计原则以及结构形式的选取，设计布局方案消除干扰静电力，并通过参数优化提高校正结构的面积利用效率．为自主研制的某型双质量硅微陀螺设计正交校正结构，使其理论上具备以12 V 直流电压校正405（°）/s 正交误差的能力．加工试验表明，对具有354（°）/s 正交误差的表头，施加11．6 V 直流电压可实现正交校正，结构的正交校正能力略小于但接近设计值．研究的正交校正结构设计方法在线振动式 Z 轴硅微陀螺中具备通用性和实用价值．

关键词：硅微陀螺、正交校正、静电修调、直流电压、结构设计

分类号：TH824.3

资助基金：中央高校基本科研业务费专项资金资助项目3222003102．

在线出版日期：2013-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1227-1231