半导体制造中多组合设备的Petri网建模及死锁分析

摘要：

在半导体晶圆加工中必须保证组合设备运行时不存在死锁,为此,建立了多组合设备的模型并研究了无死锁运行问题.首先介绍了多组合设备的结构特征,用面向资源Petri网对它的结构建模;然后,在模型中引入了着色令牌和受控变迁,能很好地描述多组合设备加工晶圆的过程.此模型结构紧凑简洁,能分析加工过程中的稳态、初始暂态和趋停暂态阶段;同时分析了初始暂态阶段如何过渡到稳态阶段.最后,分析了模型的活性等动态行为,提出了避免死锁的控制策略.结果表明如果应用控制策略,多组合设备系统能无死锁运行,有助于对多组合设备进行调度.

关键词：多组合设备、晶圆加工、建模、Petri网、死锁控制

所属期刊栏目：40

分类号：TP278(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60974098;高等学校博士学科点专项科研基金资助项目20094420110002;广东工业大学青年基金资助项目082816

在线出版日期：2011-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：267-271