精密平面定位技术

摘要：

针对精密平面定位影响因素多、控制复杂及定位困难等问题,提出了一种新的精密平面定位方法,该方法采用激光莫尔技术,以上下2组100 μm的衍射光栅作为定位标记,通过微机闭环控制,可实现X-Y-θ三自由度的全自动精密平面定位.2组光栅相位相差180°,构成差动光栅技术,可有效提高位置检测信号灵敏度及定位精度.系统在软、硬件方面采取的一系列抗干扰措施,确保了较高的定位精度及工作可靠性.实验结果表明,基于激光莫尔信号的精密定位装置可获得亚微米级的平面定位精度,对精密加工工程等领域具有重要的实用价值.

关键词：平面定位、莫尔信号、差动技术、微机控制

所属期刊栏目：35

分类号：TP274+.5(自动化技术及设备)

资助基金：江苏省高校自然科学基金04KJB510073

在线出版日期：2005-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：456-459