高精度位置检测及定位技术研究

摘要：

介绍了利用差动摩尔技术进行高精密位置检测的理论基础及其自动定位系统的实现.差动摩尔信号将反映位移变化的光强值有效地放大1倍,极大地提高了位置检测信号的灵敏度.工控机根据检测到的差动摩尔信号不断地发出控制脉冲,采用步进电机驱动工作台到达±0.5?μm的定位精度,并使位置偏差始终控制在此精度范围内.给出了系统构造和整个定位过程的实验曲线,结果说明差动摩尔技术是一种有前途的新型定位方法.

关键词：光栅、差动摩尔、精密定位

所属期刊栏目：33

分类号：TP23(自动化技术及设备)

在线出版日期：2003-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：495-497