高gn值悬臂梁式硅微加速度传感器的结构设计

摘要：

针对高冲击加速度测量，分别就硅微加速度传感器等截面和变截面悬臂梁
在不同结构尺寸下的应力状况及固有频率进行了有限元数值模拟；对等截面和变截
面悬臂梁结构的灵敏度进行了分析比较和数值计算，结果都说明了采用变截面悬臂
梁结构，灵敏度可提高近30％；对选择的变截面悬臂梁结构的加速度传感器其量程
为10000gn，有足够的抗过载能力，且横向灵敏度足够小．

关键词：悬臂梁、压阻式加速度计、结构设计

所属期刊栏目：30

分类号：TH703(仪器、仪表)

资助基金：国防预研基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：39-43