10.3321/j.issn:1001-0505.2000.06.006
一种新型的微机械电子隧穿加速度计
介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计.利用体硅微机械加工工艺和
硅/玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计.为了有效减小
低频噪声,在反馈回路里加入了振荡器和解调器.测试结果表明,目前样品的分辨率
约为10-6g/√Hz,抗冲击能力达到50g.
加速度计、电子隧穿、微机械
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TH824+.4
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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