品种诱导电化学沉积法制备AZO薄膜

摘要：

通过晶种诱导辅助电化学沉积法制备Al掺杂ZnO薄膜(AZO),利用XRD和SEM对薄膜的物相和形貌进行了表征,紫外-可见分光光度计和四探针式方阻仪分析了薄膜的光电性能,研究了不同Al掺杂浓度下AZO薄膜的晶体结构和光电性能.研究表明,一定含量的Al元素掺杂并不影响晶体的结构类型;制备的AZO薄膜均为六方纤锌矿结构,且掺杂后薄膜的电阻呈数量级下降;当Al3+掺杂浓度为0.005 mol/L时,AZO薄膜的结晶性最好,薄膜均匀致密,方块电阻为0.85 kΩ,光透过率达85％,禁带宽度为3.37 eV.

关键词：晶种诱导、电沉积、掺杂、AZO薄膜

所属期刊栏目：36

分类号：TM914.4

资助基金：大连市建委资助项目2012-456

在线出版日期：2017-06-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：134-138