电力电子器件表面保护材料带电规律的研究

摘要：

硅器件表面在获得优化的终端设计后,还要采用合适的钝化层和保护材料进行表面保护.应用电荷分离和激光探针测定法研究了硅器件表面保护材料的带电规律,并研讨了对器件表面耐压及高温稳定性的影响,给出了对实际应用具有意义的结果.

关键词：保护、材料/电力电子器件、表面耐压、表面保护

所属期刊栏目：34

分类号：TB3(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：52-54